VIP-lid
Gasopvangapparaat met silicium-chip
Gasopvangapparaat met silicium-chip
Productdetails
Productbeschrijving
Voor het vastleggen van vluchtige componenten (organische verontreinigingen) op het oppervlak van 8-inch en 6-inch silicium chips. (SW-8400)
Voor het vastleggen van vluchtige componenten (organische verontreinigingen) op het oppervlak van 12 inch silicium chips. (SW-12400)
· Het vastleggen van vluchtige gassen van eenzijdige siliciumchips, eenvoudig te bedienen.
· De verwarmingsoven maakt gebruik van een omgekeerde ophangingsmethode, waarbij alleen het door de voorkant van de chip geproduceerde gas wordt gemonsterd.
Voor het vastleggen van vluchtige componenten (organische verontreinigingen) op het oppervlak van 12 inch silicium chips. (SW-12400)
· Het vastleggen van vluchtige gassen van eenzijdige siliciumchips, eenvoudig te bedienen.
· De verwarmingsoven maakt gebruik van een omgekeerde ophangingsmethode, waarbij alleen het door de voorkant van de chip geproduceerde gas wordt gemonsterd.
De oven kan tot 500 graden worden verwarmd.
De verwarmingsovenafdichting wordt afgedicht met een O-ring (polyaminemateriaal), zonder lekkage.
· Meestal wordt het gas opgevangen met PAT (inhoud volume 10 ml, vul 2,5 g Tenax GR). Het is ook mogelijk om monsters te nemen met behulp van de juiste opvangbuis van andere fabrikanten.
De verwarmingsovenafdichting wordt afgedicht met een O-ring (polyaminemateriaal), zonder lekkage.
· Meestal wordt het gas opgevangen met PAT (inhoud volume 10 ml, vul 2,5 g Tenax GR). Het is ook mogelijk om monsters te nemen met behulp van de juiste opvangbuis van andere fabrikanten.
• Uitrusting met koelwatercirculatie.
・Uitgerust met beveiligingsapparaten zoals oververwarmingsbeveiliging, vergrendelingsbeveiliging, noodstoppknop, lekkagesensor (optioneel).
・Uitgerust met beveiligingsapparaten zoals oververwarmingsbeveiliging, vergrendelingsbeveiliging, noodstoppknop, lekkagesensor (optioneel).
Technische parameters
|
wijze
|
Omkeerde wijze
|
|
Vasvangen van silicium chip grootte
|
8" of 6", onder 5" moet een uitbreidingsring worden toegevoegd (type 12400, 12")
|
|
O-vormige ring
|
Afdichtingsdiameter 220mm (polyamide)
|
|
Kwarts verwarmingsoven
|
Transparant kwarts materiaal
|
|
Verwarmingsoven verwarming
|
Onafhankelijke verwarming van bovenplaat en onderplaat
|
|
Gebruikstemperatuur van de verwarmingsoven
|
Gebruik 400 °C (tot 500 °C)
|
|
Verhitting oven koeling
|
Koelwatercirculatie
|
|
Isolatiebuizen
|
Inertisatiebehandeling van binnenoppervlakken
|
|
Blaas het gas
|
Meestal met stikstof, maximaal gebruik stroom 500ml / min
|
|
Oververwarmingsbeveiliging
|
Stroom 15A, inductiestroom 30mA
|
|
Noodstopknop
|
Rood, paddenstoelen
|
|
Beveiligingsapparaten
|
Versloten structuur
|
|
Drukmethode
|
Motoraandrijving
|
|
Apparatuurgrootte
|
1140(W)×1106(H)×750(D)mm
|
|
gewicht
|
280Kg
|
|
Stroomvoorziening
|
Eén fase AC200V, 15A, AC100V, 20A
|
|
Standaard bijlagen:
|
|
|
PAT (eerste niveau adsorptiebuis):
|
2 stuks (niet compatibel met andere bedrijven)
|
|
Het PAT
|
1 (niet compatibel met andere bedrijven)
|
|
PAT-adapters
|
1 (voor gebruik met andere bedrijven)
|
|
O-vormige ring
|
Twee.
|
|
Koelwatercirculatie
|
1 stuk (met standaardbuis)
|
|
Isolatiebuizen
|
1 stuk
|
|
Gasdistributie
|
1 reeks (1/16"-1/8")
|
|
kabels
|
1 reeks
|
|
Gereedschappen
|
1 reeks
|
|
Gebruiksaanwijzingen
|
1 boek
|
* Technische specificaties van het type SW-12400 worden gevraagd.
Online onderzoek
-
Contactpersonen
-
Bedrijf
-
Telefoon
-
E-mail
-
WeChat
-
Verificatiecode
-
Berichtinhoud
-