Atoomkrachtmicroscoop XE-15 van Park Systems

Instrumenten beschrijving:

De Park XE-15 is volledig compatibel met monsters. Het diverse ontwerp van het monsterbord biedt een gemakkelijke en betrouwbare testomgeving voor verschillende afmetingen, vormen en hoeveelheden monsters. De ontkoppelde gesloten loop XY-scanner elimineert het buigeffect fouten en biedt de lineariteit. De echte contactloze scanmodus vergroot het assortiment van passende monsters, terwijl de levensduur van de sonde aanzienlijk wordt verlengd en de gebruikskosten worden verlaagd.

Technische parameters van de Atoomkrachtmicroscoop XE-15 van Park Systems:

De scanner

De XY-scanner

Flexibele geleide gesloten loopbediening Single Module Scanner

Scanbereik 100μm * 100μm (optioneel 50μm * 50μm)

Plaatsverschuiving: <2nm (40μm * 40μm scannen)

De Z-scanner

Flexibel geleide krachtige scanner

Scanbereik 12μm (optioneel 25μm)

Resonantiefrequentie: >5kHz

Oppervlaktebeeldsgeluid: 0,03 nm

Voorbeeld Stand

Type monstertafel: 16-punts monstertafel / 150 mm diameter vacuüm adsorptie tafel (optioneel 200 mm diameter vacuüm adsorptie tafel)

Steekproefgrootte: 150mm * 150mm * 20mm

Steekproefgewicht: zui groot 500g

Steekproeftafel bewegingsbereik: 150mm * 150mm (optioneel 200mm * 200mm)

Belangrijkste kenmerken:

1. Innovatief ontwerp van meerplaats monsterplaatsen voor werkproductiviteit

●Zui kan meer dan 16 monsters in één keer scannen

● Eenvoudige installatie van monsters, snel scannen

Verbeterde nauwkeurigheid en herhaalbaarheid van gegevens

Ondersteuning van grote steekproeven om te voldoen aan de ontwikkelingsbehoeften van de industrie

● Zui ondersteunt grote 200 mm wafers om te voldoen aan de huidige en toekomstige behoeften van gebruikers

Speciaal ontworpen om te voldoen aan de werkelijke behoeften van halfgeleidersgerelateerde gebruikers

Rijke functiemodus keuze

Volledige ondersteuning voor verschillende SPM-functies

• Ondersteuning voor meerdere opties

● Ondersteuning van verschillende optionele accessoires voor uitbreidende prestaties