Intelligente massafloopmeter Small Volume Flow Controller Thermische gas massafloopmeter
Gebruik en kenmerken
De Mass Flow Controller (MFC) wordt gebruikt voor het nauwkeurig meten en regelen van de massa stroom van een gas. Ze spelen een belangrijke rol in het onderzoek en de productie in de halfgeleider- en geïntegreerde kringindustrie, de discipline van speciale materialen, de chemische industrie, de industrie, de geneeskunde en vacuümlampen. Typische toepassingen zijn: elektronische procesapparatuur, zoals diffusie, extensie, CVD、 oxidatie, plasma-etching, sputtering, ioninjectie; en coating apparatuur, optische vezelsmelting, micro-reactie apparaten, menggassysteem, capillaire meting, gaschromatometer en andere analyseinstrumenten.
Belangrijkste technische indicatoren
Meetbereik (20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10)SLM
Nauwkeurigheid +1,5% F.S.
Lineair +0,5 ~ 1,5% F.S.
Herhaalbare nauwkeurigheid +0,2% F.S
Reactietijd 10sec Gaskenmerken: (1 ~ 4) sec
Werkdrukverschil 0.1 ~ 0.5MPa
Drukbestendigheid 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Werkomgevingstemperatuur 0 ~ 70 ℃
Digitale hoeveelheid RS485 MODBUS-protocol
Analoog DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA optioneel
Elektrische eigenschappen: SLM
Volledige stroomvoorziening DC +15V/24V, stroommeter <50mA, controller <200mA
Elektrische aansluiting DB15
Ontbreking 1×10 SCCSHe
Basismateriaal 316L roestvrij staal
Afdichtingsmateriaal Fluorerubber, Buitenrubber, Neoprene
Gasweg verbinding Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4", 3/8 "
Opmerking: De massafloopmeter en de massafloopcontroler worden meestal in de fabriek gecalibreerd met stikstof (N₂).
De eenheid voor de massafloop is: SCCM (standaard ml/min); SLM (standaard liter/min)
Intelligente massafloopmeter Small Volume Flow Controller Thermische gas massafloopmeter