Voordelen
• CS100 producten zijn ontworpen op maat van de klant,
• Klanten kunnen kiezen voor ±15V dubbele voeding of +24 enkele voeding, indien nodig;
• metalen afdichtingen of rubberen afdichtingen;
• De afmetingen zijn verkrijgbaar voor producten die voldoen aan de internationaal gebruikte SEMI-normen, of voor producten die zijn geknipt.
Technische parameters
CS100 |
||||||||||||||
Modelnummer |
CS100A |
CS100D |
||||||||||||
Type klep |
Vaak gesloten |
Geen |
Vaak gesloten |
Geen |
||||||||||
Specificaties van de stroom (N2) |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0~10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||||||||||
Nauwkeurigheid |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.) |
|||||||||||||
Lineair |
±0.5% F.S. |
|||||||||||||
Herhaalbare nauwkeurigheid |
±0.2% F.S. |
|||||||||||||
Reactietijd |
≤ 1sec |
|||||||||||||
Werkdrukverschil |
0.05~0.35MPa; Stroomspecificatie ≤10SLM |
<0.02 MPa |
0.05~0.35MPa; Stroomspecificatie ≤10SLM |
<0.02 MPa |
||||||||||
Temperatuurfactor |
Nulpunt: ≤ ± 0,05% FS / ℃; Bij regeling: ≤±0.1% F.S/℃ |
|||||||||||||
Drukbestendigheid |
3MPa |
10MPa |
3MPa |
10MPa |
||||||||||
Leksingspercentage |
1×10-9Pa·m3/ sec He(1×10-8atm·cc / sec He) |
|||||||||||||
Afdichtingsmateriaal |
Fluor rubber |
Metaal afdichting |
||||||||||||
Maximale werkdruk |
0.45MPa |
|||||||||||||
Werkomgevingstemperatuur |
(5~45)℃ |
|||||||||||||
Signaal invoeren |
Simulatie: |
Nummer: RS485 |
Geen |
Geen |
Simulatie: |
Nummer: RS485 |
Geen |
Geen |
||||||
Uitgangssignaal |
Simulatie: |
Nummer: RS485 |
Simulatie: (0-5) VDC |
Nummer: RS485 |
Simulatie: |
Nummer: RS485 |
Simulatie: |
Nummer: RS485 |
||||||
Vorm van voedingsaansluiting |
Type D 9 naalden Type D 15 naalden |
Type D 9 naalden Type O 3 naalden |
Type D 15 naalden |
Type D 9 naalden Type D 15 naalden |
Type D 9-pin aansluiting; O-type 3-naald aansluiting |
Type D 15-pin aansluiting |
Type D 9 naalden Type D 15 naalden |
Type D 9 naalden Type O 3 naalden |
Type D 15 naalden |
Type D 9 naalden Type D 15 naalden |
Type D 9-pin aansluiting; O-type 3-naald aansluiting |
Type D 15-pin aansluiting |
||
Stroomvoorziening |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
±15V |
±15V |
+24V |
||
Automatisch nulleren |
Ondersteuning |
|||||||||||||
Oppervlakte ruwheid |
25μinch Ra |
|||||||||||||
Standaard verbindingsvorm |
Dubbele kaarten φ6; Dubbele kaarten φ3; Dubbele kaarten 1/4 ''; Dubbele kaarten 1/8'; VCR1/4´ zonne aansluiting; φ6 (binnen) x1 slangverbinding; φ5 (binnen) x1.5 slangverbinding; φ4 (binnen) x1 slangverbinding |
VCR1/4″ aansluiting |
||||||||||||
gewicht |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |